Ccd的信號是電荷,那么信號電荷是怎樣產(chǎn)生的呢?Ccd的信號電荷產(chǎn)生有兩種方式,光信號注入和電信號注入。Ccd用作固態(tài)圖像光電開關(guān)傳感器時,接收的是光信號,即光信號注入。背面光注入方法如果用透明電極也可用正面光注入方法。當(dāng)ccd器件受光照射時,在柵極附近的半導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生電子空穴對,其多數(shù)載流子空穴被排進入襯底,而少數(shù)載流子電子則被收集在勢阱中,形成信號電荷,并存儲起來。存儲電荷的多少正比于照射的光強,從而可以反映圖像的明暗程度,實現(xiàn)光信號與電信號之間的轉(zhuǎn)換。
所謂電信號注入,就是ccd通過輸入結(jié)構(gòu)對信號電壓或電流進行采樣,將信號電壓或電流轉(zhuǎn)換成信號電荷。是用輸入二級管進行電注入,該二極管是在輸入柵襯底上擴散形成的。當(dāng)輸入柵ig加上寬度為t的正脈沖時,輸入二極管pn結(jié)的少數(shù)載流子通過輸入柵下的溝道注入電極下的勢力阱中,注入電荷量。 |