微機(jī)械壓力傳感器是最早開(kāi)始研制的微機(jī)械產(chǎn)品，也是微機(jī)械技術(shù)中最成熟、最早開(kāi)始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號(hào)檢測(cè)方式來(lái)看，微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類。從敏感膜結(jié)構(gòu)來(lái)看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。目前，壓阻式微機(jī)械壓力傳感器的精度可達(dá)0.05％—O.01％，年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/FS，溫度誤差為0.0002%，耐壓可達(dá)幾百兆鉑，過(guò)電壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上，并能進(jìn)行大范圍下的全溫補(bǔ)償。現(xiàn)階段微機(jī)械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個(gè)方面。
其一是將敏感元件與信號(hào)處理、校準(zhǔn)、補(bǔ)償電路及微控制器等進(jìn)行單片集成，研制智能化的微視械壓力傳感器。其二是進(jìn)一步提高靈敏度，實(shí)現(xiàn)低量程的微機(jī)械壓力傳感器。這種微壓傳感器用于脈動(dòng)風(fēng)壓、流量和密封件泄漏量標(biāo)識(shí)等領(lǐng)域。其三是提高工作溫度，研制高低溫微機(jī)械壓力傳感器。壓阻式微機(jī)械壓力傳感器由于受PN結(jié)耐溫限制，只能用于120度以下的工作溫度，然而在許多領(lǐng)域迫切需要能夠在高低溫下正常工作的微機(jī)械壓力傳感器，例如磁量鍋爐、管道、高溫容器內(nèi)的壓力，井下壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的壓力。目前對(duì)高溫微機(jī)械壓力傳感器的研究主要包括合金薄膜濺射微機(jī)械壓力傳感器，高溫光纖微機(jī)械壓力傳感器，高溫電容式微機(jī)械壓力傳感器等。
其四是開(kāi)發(fā)諧振式微機(jī)械壓力傳感器。諧振式微機(jī)械壓力傳感器除了具有普通微機(jī)械壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)外，還具有準(zhǔn)數(shù)字信號(hào)輸出，抗干擾能力強(qiáng)，分辨率和測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)。硅諧振式微機(jī)械壓力傳感器的激勵(lì)檢測(cè)方式有電磁激放電磁拾振、靜電激勵(lì)電容拾振、逆壓電激勵(lì)壓電拾振、電熱激勵(lì)壓敏電阻拾振和光熱激勵(lì)／光信號(hào)拾振。其中，電熱激勵(lì)／壓敏電阻拾振的諧振式微機(jī)械壓力傳感器價(jià)格低廉，與工業(yè)IC技術(shù)兼容，可將敏感元件與信號(hào)調(diào)理電路集成在一塊芯片上，具有誘人的應(yīng)用前景。這種傳感器的溫度交叉靈敏度較大，為此設(shè)計(jì)了一種具有溫度補(bǔ)償功能的復(fù)合諧振式微機(jī)械壓力傳感器。諧振器由在同一硅片上制作的微橋諧振器和微懸臂梁諧振器組成，微橋諧振器和微懸劈梁諧振器材料相同，厚度相等或相近，制作工藝完全相同，同時(shí)制作，因而兩者對(duì)溫度變化可以同步響應(yīng)。通過(guò)數(shù)據(jù)融合技術(shù)，作為溫敏元件的微懸臀粱諧振器的諧振頻率實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度變化對(duì)微橋諧振器諧振頻率的交叉靈敏度。經(jīng)補(bǔ)償?shù)闹C振式微機(jī)械壓力傳感器的溫度交叉靈敏度減小了兩個(gè)數(shù)量級(jí)。光熱激勵(lì)光信號(hào)拾振的諧振式微機(jī)械壓力傳惑器具有抗電磁干擾、防爆等優(yōu)點(diǎn)，是對(duì)電熱激勵(lì)壓敏電阻拾振的諧振式微機(jī)械壓力傳感器的有益補(bǔ)充，但是需要復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)，不易實(shí)現(xiàn)，成本較高。
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